引进国外智力项目成果表
项目编号：
项目名称 JD4001/D 型磁控溅射系统
专业领域 光机电一体化
成果简介
通过引智开发的全自动磁控溅射系统主要用于电子元器件及大规模集成电路（IC）器件
制造，是新型电子元器件研制开发关键设备之一，该设备还可以用于太阳能电池硅片制造。
该设备综合技术性强，自动化程度高，设备由磁控溅射源、超高真空系统、基片自动传送系
统、自动控制系统等 12 个关键技术部分组成。、基片适应范围：既能处理多种规格尺寸的硅
片，也能处理 GaAs 片；既能处理完整片，也能处理成型碎片。2、材料适应范围广：能溅
射多种靶材且靶材利用率高。3、工艺灵活性强：工艺处理模块能根据需要增减。4、盒对盒
自动送片，直线传送，基片不受压力。5、计算机全自动控制。6、严格控制粒子污染，具有
良好的膜厚均匀性和台阶覆盖性。7、高可靠性。8、安装、维护方便，占地面积小。
此设备用于在基片上镀制各种金属薄膜。采用当今国际最先进、最流行的多腔集成溅射
模式，既适合中小批量工艺处理要求又兼顾新产品新工艺研究开发需求，是有关工厂、研究
院和大专院校进行生产和科研的理想设备。
报 送 部 门 四川省外国专家局
项 目 单 位 成都南光机器有限公司公司
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地 址 成都市
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电 话 028-84848019
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