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互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor,CMOS) 互补金属氧化物半导体是一种已大量使用的光集成器件，它可以把更多的功能(如像素阵列、计时逻辑、采样电路、放大器、参考电压等)集合成一体，故价格低廉，原理和功能与CCD接近，在精度要求不高的普及型场合得到了广泛的应用。近年来，CMOS光电成像器件已成为固体成像器件研究开发的热点。
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