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精度检查(Alignment Test/Accuracy Inspection) 精度检查是指对设备的几何精度和工作精度进行有计划地定期检测，以确定设备的实际精度，为设备调整、修理、验收和报废更新提供依据。根据前后两次的精度检查结果和间隔时间，可以计算出设备精度的劣化速度。新设备安装后的精度验收结果，不但是验收的依据，还可按产品精度要求来分析设备的精度储备量。
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